灰塵、花粉、懸浮物、氣溶膠……在1m3的空氣中可以測(cè)量到多達(dá)1000萬個(gè)異物顆粒。而在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，高度潔凈的環(huán)境對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要，每一個(gè)微粒都可能損害微芯片的功能。

根據(jù) ISO 潔凈室等級(jí)，半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中每立方米空氣中記錄的顆粒尺寸僅為 20-30 μm。

史陶比爾在半導(dǎo)體行業(yè)擁有長久的歷史, 積累了大量的潔凈室相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，深知潔凈度對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的重要性：

用于生產(chǎn)半導(dǎo)體的設(shè)備本身也必須在潔凈室條件下制造。

例如，完整的光刻機(jī)系統(tǒng)的重量可能超過100噸，因此還必須保證所有系統(tǒng)組件在裝配過程中可以潔凈地進(jìn)行運(yùn)輸。

史陶比爾 WFT 與兩家知名半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商合作，為其定制潔凈版重載AGV，用于在潔凈室里搬運(yùn)重達(dá)24 噸的光刻機(jī)設(shè)備部件。

融入潔凈室生產(chǎn)環(huán)境

與傳統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)景不同，在半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)的潔凈室環(huán)境中引入AGV，與流程的連續(xù)性和自動(dòng)化無關(guān)。

引入AGV 的目的在于限制設(shè)備與人員的接觸，降低潛在污染源。

由于AGV不會(huì)離開生產(chǎn)區(qū)域，因此它也不會(huì)引入其他細(xì)小顆粒。而起重機(jī)會(huì)存在掉落磨損碎片的風(fēng)險(xiǎn)，所以重型設(shè)備及其組件都必須沿著地面來進(jìn)行運(yùn)輸。

在為兩家知名半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商定制潔凈版AGV的過程中，史陶比爾WFT積累了大量經(jīng)驗(yàn)，大到外殼材料，小到電纜護(hù)套必須經(jīng)過退火或涂層覆蓋的表面處理等工藝。

獨(dú)立潔凈室生產(chǎn)車間內(nèi)，裝配人員經(jīng)過專業(yè)訓(xùn)練，穿著潔凈室服裝并使用潔凈室兼容的工具進(jìn)行裝配。

開辟潔凈室AGV專用生產(chǎn)區(qū)

為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)格需求，史陶比爾WFT為其 AGV 建立了專用的潔凈室生產(chǎn)基地。清潔的 AGV 部件、受控氣流和特定的潔凈室服裝是構(gòu)建潔凈室AGV內(nèi)部流程的一部分。

想在潔凈室引入AGV的客戶向我們提供了非常全面的清潔度規(guī)范。許多所需的材料已經(jīng)過測(cè)試，此外，一些材料（通常是塑料）未在規(guī)范中列出，我們會(huì)對(duì)其進(jìn)行廣泛的測(cè)試。——史陶比爾 WFT 項(xiàng)目經(jīng)理 Fabian Forster

這些測(cè)試包括在產(chǎn)品生命周期內(nèi)的釋氣性以及在AGV運(yùn)行過程中可能引起的磨損，每個(gè)測(cè)試都會(huì)被詳細(xì)記錄，從而最大限度降低顆粒物的排放。

成熟可靠的AGV產(chǎn)品

事實(shí)證明，史陶比爾WFT 成熟的AGV產(chǎn)品為客戶在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)昂貴部件搬運(yùn)提供了可靠保障：

史陶比爾WFT AGV最高有效負(fù)載可達(dá)450噸，產(chǎn)品融合了獨(dú)特的全向驅(qū)動(dòng)專利技術(shù)，可提供差速運(yùn)動(dòng)、全向運(yùn)動(dòng)兩種不同移動(dòng)方式，在狹小拐角獨(dú)具優(yōu)勢(shì)。

機(jī)身緊湊實(shí)用，采用可擴(kuò)展的模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)，可根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景及客戶需求更改配置。

史陶比爾集團(tuán)是工業(yè)連接器、工業(yè)機(jī)器人和紡織機(jī)械這三大領(lǐng)域機(jī)電一體化解決方案的全球?qū)I(yè)供應(yīng)商。作為一個(gè)跨國集團(tuán)公司，史陶比爾在29個(gè)國家/地區(qū)設(shè)立分公司，代理商遍及四大洲50個(gè)國家/地區(qū)。我們?nèi)?500多名員工都致力于與幾乎是所有行業(yè)的客戶通力合作，以提供全面的解決方案和長期的支持。1892年，史陶比爾在蘇黎世湖畔創(chuàng)辦，最初只是一個(gè)家庭作坊，如今已發(fā)展成一家總部位于瑞士法菲孔(Pf?ffikon)的跨國集團(tuán)。