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OHT天車與AMR搬運機器人協(xié)作應用

2021-09-28 10:44 性質(zhì):轉(zhuǎn)載 作者:捷螺系統(tǒng) 來源:捷螺系統(tǒng)
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晶圓廠是使用自動化材料處理系統(tǒng)(AMHS)的自動化工廠。廣泛使用高架式芯片運輸車(OHT)系統(tǒng)將8/12" wafer box (open cassette/FOUP)從一組設備運送到另一組。AMHS的搬送一般分為Interbay和Intr...

晶圓廠是使用自動化材料處理系統(tǒng)(AMHS)的自動化工廠。廣泛使用高架式芯片運輸車(OHT)系統(tǒng)將8/12" wafer box (open cassette/FOUP)從一組設備運送到另一組。

AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay,OHS負責Interbay,作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng);而OHT+AMR 負責Intrabay,目前不僅應用于工序區(qū)內(nèi)部運輸,也應用于工序區(qū)間或工廠間運輸。

要實現(xiàn)全廠OHT覆蓋,AMHS系統(tǒng)的成本會非常高,(簡單估算下來,一條8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在當前中國大陸的FAB廠中,使用OHT的FAB廠屈指可數(shù)。這也對廠內(nèi)IE規(guī)劃也是個極大的考驗。

為此,捷螺系統(tǒng)專攻半導體晶圓搬運機器人,配合FAB廠OHT協(xié)作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面實現(xiàn)全廠物料自動搬運, 綜合性價比也相對較高。目前,Gyrobot已與多家OHT廠家(Muratec、Mirle等),實現(xiàn)FAB車間對接協(xié)作,為半導體工廠自動化生產(chǎn)提升更高效率。

OHT天車負責空中軌道高速傳輸作業(yè),地面上由AMR來實現(xiàn)高彈性效率作業(yè),實現(xiàn)由STOCKER、OHT、AMR、EQ間 無死角無盲區(qū)對接 ,真正實現(xiàn)FAB車間無人化自動生產(chǎn)。

捷螺系統(tǒng)(蘇州)有限公司/捷螺系統(tǒng)股份有限公司(臺灣),專注于智能機器人、 物聯(lián)網(wǎng)與工業(yè)4.0系統(tǒng)的研發(fā),以滿足智慧工廠/無人工廠內(nèi)高效率彈性化移載搬運、設備狀態(tài)監(jiān)控以及追蹤定位的需求。

基于市場需求,我們已成功推出: 

智能無軌晶圓搬運機器人、智能無軌手臂機器人、車隊派遣管理系統(tǒng)。

RFID 電子貨架

實施定位監(jiān)控系統(tǒng)

工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)Industrial IoT application、無線sensor tag、location tag 

公司愿景:

成為智慧自主行走機器人(AMR)、工業(yè)用IoT、室內(nèi)定位系統(tǒng)(RTLS)的領導廠商。

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