Sorter( 分揀系統)主要應用于晶圓制造過程中的自動分揀
產品特點:
復合SEMI 標準;
高潔凈度、高安全性、高精度控制;
提供定制化服務;
2~4 接口,緊湊型封口;
可選功能的模塊化設計;
核心技術:
高精度的處理、裝配和檢測;
傳輸振動抑制控制;
高潔凈度、高安全性、高精度控制。