Multi Lane Loader、Metrology 和 Cell Diverter 的模塊化結構使 Load Cell Line 能夠最佳地適應吞吐量、車道數量和空間要求方面的要求。對于后續的電池工藝,晶圓要么從一個或兩個進料通道轉移到 10 個通道,要么從一個通道轉移到五個通道。
根據更高的質量控制要求,可以選擇性地擴展檢測系統(孔和裂紋檢測、表面測量、使用壽命和電阻測量)。