運輸過程中基材上無劃痕
夾持器借助超聲波存儲技術將晶片保持一定距離,從而實現非接觸式傳輸。除了微小的劃痕和裂紋,還避免了顆粒的污染,因為沒有壓縮空氣就不會發生空氣湍流。因此,該夾具特別適用于極其潔凈的潔凈室。LeviWafer抓爪可以設計為單槳或雙槳。
LeviWafer抓手的特點:
非接觸式錄音
沒有微刮痕,微裂紋或顆粒
適用于標準暗盒
低能耗
可根據客戶要求定制