當(dāng)從上方抓取晶片時(shí),使用了負(fù)壓和超聲波的組合。負(fù)壓確保了晶片的吸引力,而具有排斥作用的超聲波使工件保持一定距離。這意味著在太陽能晶片和夾持器之間不會(huì)出現(xiàn)接觸點(diǎn),從而確保了輕柔的操作。
LeviSolar夾持器可用于不同尺寸的晶圓。邊緣擋塊用作對(duì)中的支撐,以便將晶片固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩?/p>
LeviWafer抓手的特點(diǎn):
非接觸式頂部抓握
無雜質(zhì)殘留
沒有微刮痕
無需使用壓縮空氣