復合移動機器人安全、精準、穩定優艾智合是怎么做到的？

晶圓搬運機器人AMR+

晶圓搬運機器人OW8，是優艾智合針對半導體上游晶圓生產打造的兼具物料移載及自動上下料的復合移動機器人，擁有適配精密生產的超高性能，保障晶圓安全穩定流轉。

適配精密生產的超強性能

半導體精密的生產條件對移動機器人提出了極高的要求。首先，由于行業特性，移動機器人自身的潔凈度等級至少需要達到CLASS100。其次，晶圓片昂貴易碎，這就要求移動機器人在搬運、存放晶圓盒時必須做到精準和穩定。此外，半導體生產工序繁多、設備布局集中，移動機器人在各工序之間頻繁、重復地進行轉運工作，就需要機器人擁有足夠穩定的運行速度以及精確到毫米級別的定位精度。在歷時兩年的場景調研和產品打磨后，優艾智合推出了整體性能業內最優水平的晶圓盒搬運機器人——OW系列。

作為優艾智合軟硬一體解決方案集大成者，OW系列可滿足CLASS-1潔凈車間等級要求，正常搬運時振動值在0.2G以內，優于國際SEMI標準規定的0.5G，有效避免搬運過程中產生振動導致裂片，保障晶圓穩定安全運轉。OW系列的研發與推出，歷經2年的充分場景認證和產品打磨。半導體專家團隊在客戶現場充分調研驗證，細化可能涉及到的如避振、安全板塊等功能，打造出對應的樣機產品，并進行不斷地迭代升級，在場景與產品性能中找到最佳平衡點，既在實驗室進行充分的實驗，也在3C等類似行業進行產品的驗證，在長達2年后的多方驗證后，優艾智合的OW系列晶圓搬運機器人產品才正式在客戶工廠落地。

多重防護保障晶圓安全穩定流轉

將移動機器人結合半導體場景做到極致性能，不是一件易事。首先要保障晶圓盒抓取和上下料的絕對精準。OW系列在機械臂的末端執行部分搭配超聲波傳感器、3D視覺、在位檢測器、儲位鎖等多種傳感器，多重感知防護保證抓取作業的穩定。

安全精準

超聲波傳感器 靈敏度高、穿透力強、受環境影響弱，有效防止抓取疊料產生的晶圓盒磕碰的情況，同時檢測人工搶料的情況。視覺定位算法通過定位補償策略，保障晶圓盒放入料口時與loadport的方向絕對平行，保障晶圓盒與設備之間的安全距離，避免因放入角度不恰當、狹小環境等因素導致設備與晶圓盒產生碰撞的風險。在位檢測傳感器夾爪末端還搭載有末端在位檢測傳感器，在運動過程中實時檢測晶圓盒在夾爪上的固定狀態，一旦在位檢測傳感器觸發，末端執行器立即緊急停止作業。在抓取過程中，超聲波傳感器、視覺定位相機、在位檢測器等傳感器模塊將進行持續的實時監測，只有三大模塊均無報錯情況，機械臂才會執行相應操作，保障晶圓盒上下料及搬運操作穩定安全。在作業中，搭載晶圓盒運動的車體保持穩定是關鍵。OW系列憑借過強的單機性能，有效避免搬運過程中出現振動等情況，同時配有激光雷達、3D視覺、坑洞傳感器等檢測設備，可避免更多突發情況的產生，最終保證了行駛時的穩定可靠。

穩定可靠

多重避障全向安全

OW系列車身對角線及豎直面分別配置激光雷達，360度水平面及垂直面障礙物實時監測，構建立體安全區域，3D視覺在激光雷達基礎上進行安全性補充，有效識別地面突起等障礙物，實時反饋車輛減速或重新規劃路線，從移動導航上來保證OW系列產品的平穩運行。特制模塊避免風險在半導體行業工廠里面，地板大小多為60×60的高架地板，地板的維修需要將地板拆卸出來，人工鉆進地板下進行檢修，OW系列晶圓搬運機器人配有專業的坑洞傳感器，有效檢測地板的實時狀況，避免車輛跌落至坑洞。三重防護可靠保障OW系列的激光雷達、視覺、坑洞檢測等模塊均為常閉型設置，某一模塊出現異常情況或無法正常啟用時，OW系列將不會執行作業；只有所有模塊均正常運作，OW系列才會執行作業，做到全方位的保障。

遇到突發情況時，OW系列的低電保護、斷網保護等多重防護保障作業“無憂”，根據客戶現場存在的更多現狀，OW系列產品還設有更多的特定功能模塊，保證了在諸多情況下產品的正常運作、物料的安全無恙。

優艾智合長期深耕場景打磨產品，將復合移動機器人的安全、精準、穩定做到極致，為工業升級提供值得信賴的機器人生產力。

西安優艾智合機器人科技有限公司是一家以機器人研發與制造為核心的創新型高新技術公司。優艾智合具有完全自主知識產權的移動機器人核心算法，擁有大量業務場景無人化改造經驗， 優艾智合基于移動機器人，致力于提供智能制造，智能巡檢及維保等覆蓋全行業、全方位的產品和解決方案。

公司為合作伙伴提供移動機器人本體及相關集成解決方案。致力于為半導體及電子制造，飛機制造，汽車零配件等制造行業提供工廠自動化及場內物流解決方案。為電力電網、能源冶煉、商業物業及公共交通等行業，提供巡檢及自動化維保解決方案。

優艾智合機器人積極踐行企業使命—“機器人技術賦能場景變革”，堅持技術創新，場景革新，力爭成為機器人行業領軍企業。