機(jī)器人和設(shè)計(jì)的SCARA機(jī)器人使用單/雙臂和1或2個(gè)刀片快速精確地傳輸300mm晶圓(12英寸)。它占地面積小,可以在很寬的運(yùn)動范圍內(nèi)有效利用空間,因此無需橫向軸即可訪問 2 個(gè)端口(修改臂時(shí)可以使用 3 個(gè)端口)。它可以根據(jù)要求定制(長 SCARA 是可定制的)。