半導(dǎo)體晶圓廠晶圓載具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD, FRAME CASSETTE)地面自動(dòng)傳送設(shè)備
協(xié)作式機(jī)器人用于半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)區(qū)域間各生產(chǎn)設(shè)備站點(diǎn)與存儲(chǔ)設(shè)備間晶圓載具的傳送,適合使用在人工搬運(yùn)且重復(fù)性高的區(qū)域。使用協(xié)作式機(jī)器人可重新布局工作環(huán)境,實(shí)現(xiàn)區(qū)域自動(dòng)化——物料自動(dòng)搬運(yùn)、自動(dòng)上下料等功能,減少操作工數(shù)量,降低人力成本,減少環(huán)境污染,提高產(chǎn)品良率。